Model of linewidth for laser writing on a photoresist

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Moreno, V.
  3. Liñares, J.
Aldizkaria:
Applied Optics

ISSN: 2155-3165,  1559-128X

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 41

Zenbakia: 5

Orrialdeak: 895-901

Mota: Artikulua

DOI: 10.1364/AO.41.000895 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus