Tuning size and coverage of Pd nanoparticles using atomic layer deposition
- Feng, J.-Y.
- Ramachandran, R.K.
- Solano, E.
- Minjauw, M.M.
- Van Daele, M.
- Vantomme, A.
- Hermida-Merino, D.
- Coati, A.
- Poelman, H.
- Detavernier, C.
- Dendooven, J.
Zeitschrift:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Datum der Publikation: 2021
Ausgabe: 539
Art: Artikel