RECUBRIMIENTOS DE NITRURO DE SILICIO PRODUCIDOS MEDIANTE LAMPARA EXCIMERA DE DESCARGA SILENCIOSA.

    Inventores/as:
  1. PIO MANUEL GONZALEZ FERNANDEZ
  2. GARCIA PARADA, EDUARDO
  3. JUAN MARIA POU SARACHO
  4. FERNANDEZ FERNANDEZ, MARIA DOLORES
  5. JULIA ASUNCION SERRA RODRIGUEZ
  6. LEON FONG, BETTY MIREYA
  7. PEREZ-MARTINEZ Y PEREZ-AMOR, MARIANO JESUS
  1. Universidade de Vigo
    info

    Universidade de Vigo

    Vigo, España

ES
Publicación principal:

ES2067410A1 (16-03-1995)

Otras Publicaciones:

ES2067410B1 (01-11-1995)

Solicitudes:

P9301284 (10-06-1993)

Resumo

RECUBRIMIENTOS DE NITRURO DE SILICIO PRODUCIDOS MEDIANTE LAMPARA EXCIMERA DE DESCARGA SILENCIOSA. RECUBRIMIENTOS DE NITRURO DE SILICIO PUEDEN SER APLICADOS SOBRE DIFERENTES MATERIALES Y COMPONENTES POR MEDIO DE UN METODO BASADO EN LA DEPOSICION QUIMICA A PARTIR DE VAPOR INDUCIDA POR LAMPARA (LAMP-CVD). LA FLEXIBILIDAD DE ESTE METODO PERMITE CONTROLAR LAS PROPIEDADES FISICO-QUIMICAS DE LOS RECUBRIMIENTOS, SIENDO DE ESPECIAL APLICACION EN LOS CAMPOS DE LA MICROELECTRONICA, OPTOELECTRONICA, CELULAS SOLARES Y PROTECCION DE MATERIALES.

INVENES: P9301284
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