Model of linewidth for laser writing on a photoresist

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Moreno, V.
  3. Liñares, J.
Revista:
Applied Optics

ISSN: 2155-3165,  1559-128X

Ano de publicación: 2002

Volume: 41

Número: 5

Páxinas: 895-901

Tipo: Artigo

DOI: 10.1364/AO.41.000895 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus