Silicon oxide films deposited by excimer laser chemical vapour deposition

  1. Szorényi, T.
  2. González, P.
  3. Fernández, M.D.
  4. Pou, J.
  5. León, B.
  6. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1990

Ausgabe: 193-194

Nummer: PART 2

Seiten: 619-626

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0040-6090(90)90213-W GOOGLE SCHOLAR
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