Silicon oxide thin films grown by Xe2* excimer lamp chemical vapour deposition: the role of the substrate temperature and the window-substrate distance
- González, P.
- García, E.
- Pou, J.
- Fernández, D.
- Serra, J.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 1994
Volum: 241
Número: 1-2
Pàgines: 348-351
Tipus: Article