Aging of photochemical vapor deposited silicon oxide thin films

  1. Parada, E.G.
  2. González, P.
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  7. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 14

Nummer: 2

Seiten: 436-440

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.580102 GOOGLE SCHOLAR
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