Aging of photochemical vapor deposited silicon oxide thin films

  1. Parada, E.G.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. Serra, J.
  5. Fernández, D.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Año de publicación: 1996

Volumen: 14

Número: 2

Páginas: 436-440

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.580102 GOOGLE SCHOLAR
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