Changes in structure and composition of silicon oxide thin films induced by ultraviolet illumination
- Parada, E.G.
- Gonzalez, P.
- Leon, B.
- Perez-Amor, M.
- Da Silva, M.F.
- Soares, J.C.
- Fernandez, A.
- Gonzalez-Elipe, R.
Actes:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Any de publicació: 1997
Volum: 441
Pàgines: 211-216
Tipus: Aportació congrés