Changes in structure and composition of silicon oxide thin films induced by ultraviolet illumination

  1. Parada, E.G.
  2. Gonzalez, P.
  3. Leon, B.
  4. Perez-Amor, M.
  5. Da Silva, M.F.
  6. Soares, J.C.
  7. Fernandez, A.
  8. Gonzalez-Elipe, R.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 441

Seiten: 211-216

Art: Konferenz-Beitrag

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