Structural and compositional studies of a-Si,C:H thin films obtained by excimer lamp chemical vapor deposition from acetylene and silane
- Redondas, X.
- González, P.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
- Soares, J.C.
- Da Silva, M.F.
ISSN: 0734-2101
Año de publicación: 1998
Volumen: 16
Número: 2
Páginas: 660-665
Tipo: Artículo