Postdeposition annealing of pulsed laser deposited CNx films

  1. González, P.
  2. Soto, R.
  3. Lusquiños, F.
  4. León, B.
  5. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 18

Nummer: 6

Seiten: 3004-3007

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.1312372 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus