Compositional, structural and optical properties of Si-rich a-SiC:H thin films deposited by ArF-LCVD

  1. López, E.
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  7. León, B.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 248

Nummer: 1-4

Seiten: 113-117

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2005.03.011 GOOGLE SCHOLAR
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