Numerical simulation of the UV-excimer laser assisted modification of amorphous hydrogenated Si/Ge bilayers to graded epitaxial heterostructures
- Conde, J.C.
- Fornarini, L.
- Chiussi, S.
- Gontad, F.
- González, P.
- Leon, B.
- Martelli, S.
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 2008
Ausgabe: 517
Nummer: 1
Seiten: 222-226
Art: Artikel