Numerical simulation of the UV-excimer laser assisted modification of amorphous hydrogenated Si/Ge bilayers to graded epitaxial heterostructures

  1. Conde, J.C.
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  3. Chiussi, S.
  4. Gontad, F.
  5. González, P.
  6. Leon, B.
  7. Martelli, S.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 517

Nummer: 1

Seiten: 222-226

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.TSF.2008.08.076 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus