Pulsed UV-laser processing of amorphous and crystalline group IV semiconductors

  1. Chiussi, S.
  2. Gontad, F.
  3. Stefanov, S.
  4. Conde, J.C.
  5. López, E.
  6. Serra, C.
  7. Benedetti, A.
  8. Serra, J.
  9. León, B.
  10. González, P.
Konferenzberichte:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862 1938-6737

ISBN: 978-1-5667-7907-4

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 41

Nummer: 7

Seiten: 315-330

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1149/1.3633312 GOOGLE SCHOLAR