UV excimer laser assisted heteroepitaxy of (Si)GeSn on Si(100)

  1. Chiussi, S.
  2. Stefanov, S.
  3. Benedetti, A.
  4. Serra, C.
  5. Buca, D.
  6. Schulze, J.
  7. González, P.
Konferenzberichte:
ECS Transactions

ISSN: 1938-6737 1938-5862

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 64

Nummer: 6

Seiten: 115-125

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1149/06406.0115ECST GOOGLE SCHOLAR