UV excimer laser assisted heteroepitaxy of (Si)GeSn on Si(100)

  1. Chiussi, S.
  2. Stefanov, S.
  3. Benedetti, A.
  4. Serra, C.
  5. Buca, D.
  6. Schulze, J.
  7. González, P.
Actes de conférence:
ECS Transactions

ISSN: 1938-6737 1938-5862

Année de publication: 2014

Volumen: 64

Número: 6

Pages: 115-125

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1149/06406.0115ECST GOOGLE SCHOLAR