On the Physical Vapour Deposition (PVD): Evolution of Magnetron Sputtering Processes for Industrial Applications

  1. Baptista, A.
  2. Silva, F.J.G.
  3. Porteiro, J.
  4. Míguez, J.L.
  5. Pinto, G.
  6. Fernandes, L.
Konferenzberichte:
Procedia Manufacturing

ISSN: 2351-9789

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 17

Seiten: 746-757

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.PROMFG.2018.10.125 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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