Pyrolytic deposition of SiO2 with Co2 laser

  1. Fernández, M.D.
  2. González, P.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X 0277-786X

Datum der Publikation: 1989

Ausgabe: 1022

Seiten: 100-101

Art: Artikel

DOI: 10.1117/12.950109 GOOGLE SCHOLAR