Hydrogenated amorphous silicon by infrared multiphoton absorption with a pulsed CO2-laser

  1. Roth, A.
  2. Chiussi, S.
  3. Dietrich, T.R.
  4. Comes, F.J.
Zeitschrift:
Berichte der Bunsengesellschaft/Physical Chemistry Chemical Physics

ISSN: 0005-9021

Datum der Publikation: 1990

Ausgabe: 94

Nummer: 10

Seiten: 1105-1110

Art: Artikel

DOI: 10.1002/BBPC.19900941010 GOOGLE SCHOLAR