AlxTayOz mixture coatings prepared using atomic layer deposition for corrosion protection of steel

  1. Härkönen, E.
  2. Díaz, B.
  3. Światowska, J.
  4. Maurice, V.
  5. Seyeux, A.
  6. Fenker, M.
  7. Tõth, L.
  8. Radnõczi, G.
  9. Marcus, P.
  10. Ritala, M.
Zeitschrift:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 0948-1907 1521-3862

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 19

Nummer: 4-6

Seiten: 194-203

Art: Artikel

DOI: 10.1002/CVDE.201207028 GOOGLE SCHOLAR