Electrochemical and time-of-flight secondary ion mass spectrometry analysis of ultra-thin metal oxide (Al2O3 and Ta2O 5) coatings deposited by atomic layer deposition on stainless steel

  1. Díaz, B.
  2. Światowska, J.
  3. Maurice, V.
  4. Seyeux, A.
  5. Normand, B.
  6. Härkönen, E.
  7. Ritala, M.
  8. Marcus, P.
Revista:
Electrochimica Acta

ISSN: 0013-4686

Any de publicació: 2011

Volum: 56

Número: 28

Pàgines: 10516-10523

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.ELECTACTA.2011.02.074 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus