EXCIMER LASER CVD OF SILICON-OXIDE ON GAAS - A COMPARISON WITH DEPOSITION ON C-SI

  1. GONZALEZ, P
  2. GARCIA, E
  3. POU, J
  4. FERNANDEZ, D
  5. LEON, B
  6. PEREZAMOR, M
Col·lecció de llibres:
LASER SURFACE PROCESSING AND CHARACTERIZATION
  1. BOYD, IW (coord.)

ISBN: 0-444-89419-5

Any de publicació: 1992

Volum: 24

Pàgines: 108-111

Congrés: SYMP ON LASER SURFACE PROCESSING AND CHARACTERIZATION, AT THE 1991 SPRING MEETING OF THE EUROPEAN MATERIALS RESEARCH SOC / INTERNATIONAL CONF ON ADVANCED MATERIALS

Tipus: Aportació congrés

GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: WoS