STEFANO
CHIUSSI
PROFESOR/A TITULAR DE UNIVERSIDAD TC
ANGEL MANUEL
FERNANDEZ DOVAL
PROFESOR/A TITULAR DE UNIVERSIDAD TC
Publicacions en què col·labora amb ANGEL MANUEL FERNANDEZ DOVAL (1)
2023
-
Pulsed 193 nm Excimer laser processing of 4H–SiC (0001) wafers with radiant exposure dependent in situ reflectivity studies for process optimization
Materials Science in Semiconductor Processing, Vol. 168