Forschungsprojekt
IN-0374-22
IRRADIATION OF SEPECIFIC SAMPLE SURFACES AND OPTICAL COMPONENTS WITH A 193NM LEAP-60 A EXCIMER LASER IN ISO-7 CLEANROOM ENVIRONMENT
date_range
Dauer von 09 von September von 2022 bis 31 von Dezember von 2022
(4 Monate)
Fertig
Es wurde auf Direkte Zuwendung-Basis gewährt.
