Projet de recherche
IN-0374-22
IRRADIATION OF SEPECIFIC SAMPLE SURFACES AND OPTICAL COMPONENTS WITH A 193NM LEAP-60 A EXCIMER LASER IN ISO-7 CLEANROOM ENVIRONMENT
date_range
Durée de 09 septembre 2022 à 31 décembre 2022
(4 mois)
Fini
Il a été accordé sur une base Subvention directe.
