Pontevedra
Campus
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
Dresde, AlemaniaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (1)
2014
-
Dopant profile engineering using ArF excimer laser, flash lamp and spike annealing for junction formation
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology