System for laser writing to lithograph masks for integrated optics

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Roman, J.F.
  3. Moreno, V.
Revista:
Optical Engineering

ISSN: 0091-3286

Any de publicació: 1998

Volum: 37

Número: 4

Pàgines: 1115-1123

Tipus: Article

DOI: 10.1117/1.601945 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus