System for laser writing to lithograph masks for integrated optics

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Roman, J.F.
  3. Moreno, V.
Aldizkaria:
Optical Engineering

ISSN: 0091-3286

Argitalpen urtea: 1998

Alea: 37

Zenbakia: 4

Orrialdeak: 1115-1123

Mota: Artikulua

DOI: 10.1117/1.601945 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus