Capas de a-SiN:H modificadas mediante la irradiación con un láser de excímero
- Pérez-Martínez Pérez-Amor, Mariano
- Banerji, Natalie
- Lusquiños Rodríguez, Fernando
- Chiussi, Stefano
- León Fong, Betty Mireya
- Serra Rodríguez, Julia
ISSN: 0034-8570
Any de publicació: 1998
Volum: 34
Número: 2
Pàgines: 164-169
Tipus: Article
Altres publicacions en: Revista de metalurgia