Capas de a-SiN:H modificadas mediante la irradiación con un láser de excímero

  1. Pérez-Martínez Pérez-Amor, Mariano
  2. Banerji, Natalie
  3. Lusquiños Rodríguez, Fernando
  4. Chiussi, Stefano
  5. León Fong, Betty Mireya
  6. Serra Rodríguez, Julia
Revue:
Revista de metalurgia

ISSN: 0034-8570

Année de publication: 1998

Volumen: 34

Número: 2

Pages: 164-169

Type: Article

DOI: 10.3989/REVMETALM.1998.V34.I2.682 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openAccès ouvert editor

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