Capas de a-SiN:H modificadas mediante la irradiación con un láser de excímero
- Pérez-Martínez Pérez-Amor, Mariano
- Banerji, Natalie
- Lusquiños Rodríguez, Fernando
- Chiussi, Stefano
- León Fong, Betty Mireya
- Serra Rodríguez, Julia
ISSN: 0034-8570
Année de publication: 1998
Volumen: 34
Número: 2
Pages: 164-169
Type: Article
