Silicon oxide films deposited by excimer laser chemical vapour deposition

  1. Szorenyi, T.
  2. Gonzalez, P.
  3. Fernandez, M.D.
  4. Pou, J.
  5. Leon, B.
  6. Perez-Amor, M.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1990

Ausgabe: 194

Nummer: 1 -2 pt 2

Seiten: 619-626

Art: Artikel

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