Silicon oxide films deposited by excimer laser chemical vapour deposition

  1. Szorenyi, T.
  2. Gonzalez, P.
  3. Fernandez, M.D.
  4. Pou, J.
  5. Leon, B.
  6. Perez-Amor, M.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1990

Alea: 194

Zenbakia: 1 -2 pt 2

Orrialdeak: 619-626

Mota: Artikulua

GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus