Large area silica films deposited on silicon substrates by a CO2 laser
- Szorenyi, Tamas
- Gonzalez, Pio
- Fernandez, Dolores
- Pou, Juan
- Leon, Betty
- Perez-Amor, Mariano
ISSN: 0277-786X
ISBN: 0819403261
Datum der Publikation: 1990
Ausgabe: 1279
Seiten: 144-149
Art: Konferenz-Beitrag