Photo-induced chemical vapour deposition of silicon oxide thin films

  1. González, P.
  2. Fernández, D.
  3. Pou, J.
  4. García, E.
  5. Serra, J.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 1992

Volumen: 218

Número: 1-2

Páginas: 170-181

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0040-6090(92)90916-Y GOOGLE SCHOLAR

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