Photo-induced chemical vapour deposition of silicon oxide thin films

  1. González, P.
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  7. Pérez-Amor, M.
Revue:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Année de publication: 1992

Volumen: 218

Número: 1-2

Pages: 170-181

Type: Article

DOI: 10.1016/0040-6090(92)90916-Y GOOGLE SCHOLAR

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