Silicon oxide thin films grown by Xe2* excimer lamp chemical vapour deposition: the role of the substrate temperature and the window-substrate distance

  1. González, P.
  2. García, E.
  3. Pou, J.
  4. Fernández, D.
  5. Serra, J.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Ano de publicación: 1994

Volume: 241

Número: 1-2

Páxinas: 348-351

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0040-6090(94)90455-3 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus