CO2 laser chemical vapor deposition of silica films in a parallel configuration: A study of gas phase phenomena

  1. Fernandez, D.
  2. Gonzalez, P.
  3. Pou, J.
  4. Garcia, E.
  5. Serra, J.
  6. Leon, B.
  7. Perez-Amor, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Any de publicació: 1994

Volum: 12

Número: 2

Pàgines: 484-493

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.579156 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus