CO2 laser chemical vapor deposition of silica films in a parallel configuration: A study of gas phase phenomena

  1. Fernandez, D.
  2. Gonzalez, P.
  3. Pou, J.
  4. Garcia, E.
  5. Serra, J.
  6. Leon, B.
  7. Perez-Amor, M.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Datum der Publikation: 1994

Ausgabe: 12

Nummer: 2

Seiten: 484-493

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.579156 GOOGLE SCHOLAR
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