CO2 laser chemical vapor deposition of silica films in a parallel configuration: A study of gas phase phenomena
- Fernandez, D.
- Gonzalez, P.
- Pou, J.
- Garcia, E.
- Serra, J.
- Leon, B.
- Perez-Amor, M.
ISSN: 1520-8559, 0734-2101
Año de publicación: 1994
Volumen: 12
Número: 2
Páginas: 484-493
Tipo: Artículo