High-reflectivity surface evaluation in Fizeau phase-stepping interferometry with a Ronchi grid as phase modulator

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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Año de publicación: 1996

Volumen: 2782

Páginas: 258-266

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.250752 GOOGLE SCHOLAR

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