Photochemical vapour deposition of hydrogenated amorphous silicon-carbon thin films by using a Xe 2 * excimer lamp

  1. Redondas, X.
  2. González, P.
  3. Chiussi, S.
  4. Parada, E.G.
  5. Pou, J.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 1996

Volume: 106

Páxinas: 55-59

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/S0169-4332(96)00377-7 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus