Aging of photochemical vapor deposited silicon oxide thin films

  1. Parada, E.G.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. Serra, J.
  5. Fernández, D.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Ano de publicación: 1996

Volume: 14

Número: 2

Páxinas: 436-440

Tipo: Artigo

DOI: 10.1116/1.580102 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus