Silica deposition by excimer-laser-induced chemical vapour deposition in perpendicular configuration
- León, B.
- Klumpp, A.
- González, P.
- Parada, E.G.
- Fernández, D.
- Pou, J.
- Serra, J.
- Sigmund, H.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 1057-9257
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 6
Nummer: 2
Seiten: 83-92
Art: Artikel