Influence of the substrate temperature on silicon-carbon thin films deposited from SiH4 and C2H4 by excimer lamp-CVD
- Redondas, X.
- González, P.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 1998
Volum: 317
Número: 1-2
Pàgines: 112-115
Tipus: Article