Influence of the substrate temperature on silicon-carbon thin films deposited from SiH4 and C2H4 by excimer lamp-CVD
- Redondas, X.
- González, P.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 1998
Ausgabe: 317
Nummer: 1-2
Seiten: 112-115
Art: Artikel