Modification of silicon-carbon film properties under high energy ion beam irradiation

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1998

Volumen: 136-138

Páginas: 511-515

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(97)00692-7 GOOGLE SCHOLAR
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