Structural and compositional studies of a-Si,C:H thin films obtained by excimer lamp chemical vapor deposition from acetylene and silane

  1. Redondas, X.
  2. González, P.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
  5. Soares, J.C.
  6. Da Silva, M.F.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Ano de publicación: 1998

Volume: 16

Número: 2

Páxinas: 660-665

Tipo: Artigo

DOI: 10.1116/1.581083 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus