Characterization of Si-rich a-Si 1-X N X :H alloys deposited by laser-CVD

  1. Banerji, N.
  2. Serra, J.
  3. Chiussi, S.
  4. Lusquiños, F.
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  6. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 138-139

Nummer: 1-4

Seiten: 383-387

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0169-4332(98)00430-9 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus