Characterization of Si-rich a-Si 1-X N X :H alloys deposited by laser-CVD

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Revue:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Année de publication: 1999

Volumen: 138-139

Número: 1-4

Pages: 383-387

Type: Article

DOI: 10.1016/S0169-4332(98)00430-9 GOOGLE SCHOLAR
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